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氬氣是目前工業(yè)上應(yīng)用很廣的稀有氣體。它的性質(zhì)十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃。在飛機制造、造船、原子能工業(yè)和機械工業(yè)部門,對特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。
高純氬氣主要用途:用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。
氬氣的毒性及安全防護
氬本身無毒,但在高濃度時有窒息作用。當(dāng)空氣中氧氣濃度高于33%時,即氧氣濃度比平時減少 2/3以下時,就有窒息的危險。當(dāng)氧氣濃度超過50% 時,出現(xiàn)嚴(yán)重癥狀,濃度達(dá)75%以上時,能在數(shù)分鐘內(nèi)死亡。
窒息癥狀表現(xiàn)為,最初出現(xiàn)呼吸加快,注意力減退,肌肉運動失調(diào),繼而出現(xiàn)判斷力下降,失去 所有感覺,情緒不穩(wěn),全身疲乏,進(jìn)而出現(xiàn)惡心、嘔吐、衰弱、意識喪失、痊孿、昏睡,以致死亡。液態(tài)氬濺入眼內(nèi)可引起炎癥,觸及皮膚可引起凍傷。氬氣可用玻璃瓶或鋼瓶貯裝。在貯運過程中輕裝輕卸,嚴(yán)防碰損,防止高溫。氬氣沒有腐蝕性,在常溫下可使用碳鋼、不銹鋼、銅、銅合金、等通用金屬材料及一般的塑性材料和彈性材料。在低溫下常用聚四氟乙烯和聚三氟氯化乙烯聚合體來作墊圈、隔膜等。
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