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氦質(zhì)譜檢漏法是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓力丈量原理，完成被檢件的氦走漏量丈量。當(dāng)被檢件密封面上存在漏孔時(shí)，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會(huì)從漏孔泄出，走漏出來的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，

由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號(hào)值。

依據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯方位與被檢件的聯(lián)系不同，能夠?qū)⒑べ|(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，以下總結(jié)了這四種氦質(zhì)譜檢漏法的檢測(cè)原理、優(yōu)缺點(diǎn)及檢測(cè)的規(guī)范。

氦質(zhì)譜檢漏-正壓法，正壓法首要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。正壓法是不需求輔佐的真空體系，能夠準(zhǔn)確定位，完成任何工作壓力下的檢測(cè)?？墒窃撧k法檢測(cè)靈敏

度較低，檢測(cè)成果不確定度大，受丈量環(huán)境條件影響大。

選用正壓法檢漏時(shí)，需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外外表的周圍大氣環(huán)境中，再選用吸槍的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境

中的氦氣濃度增量，然后完成被檢產(chǎn)品走漏丈量。依照收集氦氣方式的不同，又能夠?qū)⒄龎悍ǚ譃檎龎何鼧尫ê驼龎豪鄯e法。其間正壓吸槍法選用檢漏儀吸槍對(duì)被檢產(chǎn)品外外表進(jìn)行掃描探查，能夠完成漏孔

的準(zhǔn)確定位； 正壓累積法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來，選用檢漏儀吸槍丈量必定時(shí)刻段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度改變量，完成被檢產(chǎn)品總漏率的準(zhǔn)確丈量。

氦質(zhì)譜檢漏-背壓法，背壓法的檢漏首要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。該辦法檢測(cè)靈敏度高，能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測(cè)，能夠進(jìn)行批量化檢測(cè)。可是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封

腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)刻太長(zhǎng)。此外，每個(gè)丈量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效規(guī)范漏率，在細(xì)檢完成后還需求選用其它辦法進(jìn)行粗檢，掃除大漏的或許。

選用背壓法檢漏時(shí)，首要將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，假如被檢產(chǎn)品外表有漏孔，氦氣便經(jīng)過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將

外表的剩余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)經(jīng)過漏孔走漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率丈量。檢漏儀給出的漏率值為

丈量漏率，需求經(jīng)過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效規(guī)范漏率。

氦質(zhì)譜檢漏-真空法，真空法首要應(yīng)用于真空密封功能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。真空法檢測(cè)靈敏度高，能夠準(zhǔn)確定位，能完成大容器或雜亂結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

可是只能完成一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的實(shí)在走漏狀況。

選用真空法檢漏時(shí)，需求使用輔佐真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，選用氦罩或噴吹的辦法在被檢產(chǎn)品外外表施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)經(jīng)過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦

質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品走漏量丈量。依照施漏氣體辦法的不同，又能夠?qū)⒄婵辗ǚ譃檎婵諊姶捣ê驼婵蘸ふ址?。其間真空噴吹法選用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外外表噴吹氦氣，能夠完成漏孔的準(zhǔn)確定位；

 真空氦罩法選用有必定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品悉數(shù)罩起來，在罩內(nèi)充溢必定濃度的氦氣，能夠完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

氦質(zhì)譜檢漏-真空壓力法，真空壓力法首要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。該辦法檢測(cè)靈敏度高，能完成任何工作壓力的漏

率檢測(cè)，反映被檢件的實(shí)在走漏狀況。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無(wú)走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將一切充氣管道銜接接口

放置在真空密封室外部。

選用真空壓力法檢漏時(shí)，需求將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔佐抽暇體系和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口經(jīng)過銜接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時(shí)，

氦氣就會(huì)經(jīng)過漏孔進(jìn)入真空密封室，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。