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1.氣相色譜法

氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機(jī)氣體，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的絕大部分有機(jī)氣體的分析。

氣相色譜儀主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱恒溫箱、色譜柱、檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。 用氣相色譜法分析標(biāo)準(zhǔn)氣體，要想獲得準(zhǔn)確可靠的

分析結(jié)果，首先必須建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術(shù)。

2.微量氧分析儀

微量氧分析儀：在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準(zhǔn)確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準(zhǔn)確測定

高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點(diǎn)之一。

3.化學(xué)發(fā)光法

化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對組分進(jìn)行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方法、快速等特點(diǎn)。適用硫化物、

氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體的分析。

4.微量水分析儀

微量水分也是評價高純氣體質(zhì)量的主要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴(yán)格的要求，準(zhǔn)確測量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能

保證高純氣體的質(zhì)量。

5.非色散紅外分析法

非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測器測量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分

的含量。非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測器、放大器及數(shù)據(jù)顯示裝置組成。

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