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氦質(zhì)譜檢漏法利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。如果被測零件的密封表面有泄漏，則表明泄漏的氦氣和其他氣體已從泄漏處排出。泄漏氣體進入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，

由于其選擇性檢測能力，僅顯示氣體中的氦分壓信號值。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，可以通過比較標(biāo)準(zhǔn)泄漏孔來獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。

根據(jù)泄漏檢測過程中顯示的泄漏氣體位置與被測對象之間的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜泄漏檢測方法可分為真空法、超壓法、真空壓力法和背壓法。

綜述了這四種氦質(zhì)譜檢漏方法的檢測原理。優(yōu)點和缺點以及測試標(biāo)準(zhǔn)。 

1.真空質(zhì)譜法的泄漏檢測。 

如果使用真空法檢測泄漏，則應(yīng)使用輔助真空泵或泄漏檢測器對測試產(chǎn)品的內(nèi)部密封室進行真空處理，并通過氦帽或噴霧法將氦氣施加到測試產(chǎn)品的外表面。

如果被測產(chǎn)品表面有泄漏孔，氦氣通過泄漏孔進入被測產(chǎn)品，然后進入氦氣質(zhì)譜儀檢漏儀，實現(xiàn)對被測產(chǎn)品的泄漏測量。根據(jù)泄漏方法的不同，真空過程可分為真空注入法和真空氦帽法。

 真空噴涂法：用噴槍將氦氣噴涂在被測產(chǎn)品的外表面，可以實現(xiàn)對泄漏的精確定位； 真空氦蓋法：用具有特定密封功能的氦蓋蓋住所有被測產(chǎn)品，使其充滿一定的氦濃度，并測量被測產(chǎn)

品的總泄漏率。 真空法的優(yōu)點和缺點。 真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，定位準(zhǔn)確，能夠檢測大型容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品中的泄漏。 真空工藝的缺點是只能在匹配壓差較大的情況下實現(xiàn)泄漏

率檢測，不能準(zhǔn)確反映產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)。 真空法主要063702423c92d45用于有真空密封性能要求但無壓力的產(chǎn)品，如空間移動部件、液氫罐、環(huán)境模擬設(shè)備等。

 2.超壓氦質(zhì)譜泄漏檢測。 

當(dāng)使用超壓方法檢測泄漏時，測試產(chǎn)品的內(nèi)部密封室應(yīng)充滿高于空氣壓力的氦氣。如果測試產(chǎn)品的表面有泄漏，氦氣通過泄漏進入測試產(chǎn)品表面周圍的大氣環(huán)境，

然后使用吸槍檢測測試產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中氦氣濃度的增加，從而實現(xiàn)測試產(chǎn)品的泄漏測量。根據(jù)收集氦氣的方法不同，超壓法可分為超壓吸槍法和超壓積聚法。正壓吸槍法：用檢漏吸槍

對被測產(chǎn)品外表面進行掃描檢測，實現(xiàn)對泄漏的準(zhǔn)確定位； 超壓累積法：使用具有特定密封功能的氦氣蓋覆蓋所有檢測產(chǎn)品，并使用檢漏儀測量氦氣蓋內(nèi)氦氣濃度在一定時間前后的變化，

實現(xiàn)對檢測產(chǎn)品總泄漏率的精確測量。 超壓工藝的優(yōu)點和缺點。 超壓方法的優(yōu)點是真空系統(tǒng)不需要任何支撐，并且可以精確定位以在任何工作壓力下實現(xiàn)檢測。 超壓方法的缺點是檢測靈

敏度低、檢測結(jié)果不確定以及測量環(huán)境的顯著影響。 超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測。

 3.氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法。 

當(dāng)使用真空壓力法進行泄漏檢測時，有必要將整個測試產(chǎn)品放置在真空密封室中。真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測器。被測產(chǎn)品的充氣接口通過連接管引出真空密封室，然后連接

到氦源。如果被測產(chǎn)品表面有泄漏，氦氣通過泄漏進入真空密封室，然后進入氦氣質(zhì)譜儀檢漏儀，測量被測產(chǎn)品的總泄漏率。