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電子混合氣
電子混合氣
產(chǎn)品分類: 電子混合氣
產(chǎn)品詳情
電子混合氣體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(L.S.I)、超大規(guī)模集成電路(V.L.S.I)和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,主要用于氣相外延(生產(chǎn))、化學(xué)氣相淀積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、各類腐刻和離子注入等工藝中。
序號(hào) | 中鑫瑞遠(yuǎn)電子混合氣體匯總 |
1 | 二氯硅烷(DCS)5000ppm +N2;二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2 |
2 | 二氯硅烷(DCS)10ppm + 三氯硅烷(TCS)10ppm +氦 |
3 | HCI 50ppm + 二氯硅烷(DCS) 1000ppm +平衡He |
4 | 硅烷1%+二氯硅烷(DCS)1%+三氯硅烷(TCS)1%+四氯化硅1%+氮 |
5 | 硅烷50ppm+三氯硅烷(TCS)1000ppm+He |
6 | 三氯硅烷(TCS)15ppm+N2 |
7 | 乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2 |
8 | 乙硅烷 10ppm +He |
9 | CO2 5ppm + 硅烷 135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He |
10 | SiH4 5ppm ~ 15% +Ar(H2/N2/He) |
11 | H2 5ppm + Ar 5ppm + N2 5ppm + CO 5ppm + CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He |
12 | 乙硼烷 50~ 100ppm + H2 |
13 | 砷烷 100ppm ~ 0.7% + H2 |
14 | 鍺烷 1% ~ 10% + H2 |
15 | 三氯化硼 1% ~ 5% + N2 (He) |
16 | PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2) |
17 | HCI 9ppm ~ 50% + N2 |
18 | NF3 99.99% 180g ~1500g |
19 | NF3 20ppm ~ 30ppm + Air |
20 | NF3 15ppm + N2 |
21 | CF4 80% + O2 |
22 | Ar 5ppm ~ 80% + Ne (H2/He/N2) |
23 | Kr 8% ~ 50% + Ar |
24 | Ne 80% ~ 97% + Ar |