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電子混合氣

電子混合氣

產(chǎn)品分類: 電子混合氣

    產(chǎn)品詳情


    電子混合氣體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(L.S.I)、超大規(guī)模集成電路(V.L.S.I)和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,主要用于氣相外延(生產(chǎn))、化學(xué)氣相淀積、摻雜(雜質(zhì)擴(kuò)散)、各類腐刻和離子注入等工藝中。


     序號(hào)                        中鑫瑞遠(yuǎn)電子混合氣體匯總
         1二氯硅烷(DCS)5000ppm +N2;二氯硅烷(DCS) 15ppm + N2
         2二氯硅烷(DCS)10ppm + 三氯硅烷(TCS)10ppm +氦
         3HCI 50ppm + 二氯硅烷(DCS) 1000ppm +平衡He
         4硅烷1%+二氯硅烷(DCS)1%+三氯硅烷(TCS)1%+四氯化硅1%+氮
         5硅烷50ppm+三氯硅烷(TCS)1000ppm+He
         6三氯硅烷(TCS)15ppm+N2
         7乙硅烷(Si2H4) 100ppm ~ 200ppm + H2
         8乙硅烷 10ppm +He
         9CO2 5ppm + 硅烷 135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He
        10SiH4 5ppm ~ 15% +Ar(H2/N2/He)
        11H2 5ppm + Ar 5ppm + N2 5ppm + CO 5ppm + CH4 5ppm
    + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He
        12乙硼烷 50~ 100ppm + H2
        13砷烷 100ppm ~ 0.7% + H2
        14鍺烷 1% ~ 10% + H2
        15三氯化硼 1% ~ 5% + N2 (He)
        16PH3 0.8ppm ~ 500ppm + He(H2)
        17HCI 9ppm ~ 50% + N2
        18NF3 99.99%  180g ~1500g
        19NF3 20ppm ~ 30ppm + Air
        20NF3 15ppm + N2
        21CF4 80% + O2
        22Ar 5ppm ~ 80% + Ne (H2/He/N2)
        23Kr 8% ~ 50% + Ar
        24Ne 80% ~ 97% + Ar



    電子混合氣_01

    電子混合氣_02

    電子混合氣_03

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