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氣體分析中有許多分析恒定氣體的方法，但常用的方法有氣相色譜法、化學(xué)發(fā)光法、非色散紅外光譜法和其他分析水和氧殘留物的方法。

1.氣相色譜法

氣相色譜法適用于分析無(wú)機(jī)氣體，如氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤?、氦氣、一氧化碳和C3以上的大多數(shù)有機(jī)氣體，如甲烷、乙烷、丙烯。氣相色譜儀主要由氣路系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、柱恒溫箱、色譜柱、檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。為了通過(guò)恒定氣體的氣相色譜分析獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果，必須首先確定分析方法，并選擇適當(dāng)?shù)牟僮鳁l件和技術(shù)。

2.化學(xué)發(fā)光法

化學(xué)發(fā)光法是一種利用某些化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象的成分分析方法。它具有靈敏度高、選擇性好、操作簡(jiǎn)單、速度快的特點(diǎn)。用于硫化物、氮氧化物、氨等標(biāo)準(zhǔn)氣體。

3.非色散紅外分析方法

分散紅外氣體分析儀利用各種氣室和探測(cè)器測(cè)量混合氣體中一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等成分的濃度。分散式紅外氣體分析儀主要由紅光源、樣品室、過(guò)濾器、切割器、檢測(cè)器、放大器和數(shù)據(jù)顯示裝置組成。

4. 其他分析方法

（1） 微量氧分析儀：在分析非常純的氣體時(shí)，幾乎所有的高純度氣體都需要準(zhǔn)確測(cè)定孢子的氧含量。由于大氣中氧氣含量高（21%），精確測(cè)定非常純的氣體中的微量酸甚至微量酸是氣體分析的難點(diǎn)之一。

（2） 微波出水分析儀：微波出水也是評(píng)估高純度氣體質(zhì)量的主要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都有嚴(yán)格的含水量要求，準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體的含水量是保證高純氣體質(zhì)量的必要條件。